| 摘要 |
<p>【課題】ウィーンフィルタを利用し、２次電子と反射電子を分離してディテクティングすることができる反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明は、反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡に関し、本発明に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡は、光ソースから生成される１次電子（Ｐｒｉｍａｒｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ）を試料に入射させ、前記１次電子が入射された後、試料から放出される放出電子を検出するための走査電子顕微鏡において、前記光ソースと前記試料との間に配置され、磁場及び電場を発生させることによって、前記放出電子を２次電子（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ）と前記反射電子（Ｂａｃｋ Ｓｃａｔｔｅｒｅｄ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ）に分離するウィーンフィルタ部と、前記ウィーンフィルタ部から分離される２次電子と反射電子をそれぞれディテクティングするディテクティング部とを含むことを特徴とする。【選択図】図２</p> |
