Festkörperbildgebungsvorrichtung und Verfahren zu deren Ansteuerung

摘要

Eine Festkörperbildgebungsvorrichtung weist mehrere Pixel (10) auf. Jedes Pixel (10) ist in einem Oberflächenschichtabschnitt eines Halbleitersubstrats (20) angeordnet und weist auf: einen photoelektrischen Wandlungsabschnitt (21), der einfallendes Licht in eine elektrische Ladung wandelt; einen Ladungshalteabschnitt (22), der die elektrische Ladung speichert und im Halbleitersubstrat (20) angeordnet ist; eine Vervielfachungsgateelektrode (31), die kapazitiv mit dem Ladungshalteabschnitt (22) gekoppelt und über einen Isolierfilm (34) oberhalb des Halbleitersubstrats (20) angeordnet ist; und einen Ladungssperrabschnitt (26), der zwischen dem Ladungshalteabschnitt (22) und dem Isolierfilm (34) angeordnet ist und eine höhere Störstellenkonzentration als das Halbleitersubstrat (20) aufweist.