| 摘要 |
<p>【課題】吸着する部品の中心に塵埃が付くことを防止する。【解決手段】ノズル２は、ガスを吸引することで負圧を発生させ、負圧によってレンズＸＡ１を吸着し、その後、ガスを吐出してレンズＸＡ１の吸着を解除する。ノズル２は、吸引又は吐出するガスを導く基端通路６と、基端通路６を、レンズＸＡ１の略中心に対向する中心開口１０に繋ぎ、吸引するガスを中心開口１０から基端通路６に導く中心通路７と、基端通路６を、中心開口１０の周囲に位置する周囲開口１１に繋ぎ、吸引するガスを周囲開口１１から基端通路６に導く一方で、吐出するガスを基端通路６から周囲開口１１に導く周囲通路と、基端通路６及び中心通路７の接続部分に設けられ、ガスの吸引時に前記基端通路６及び中心通路７を接続して中心開口１０からのガスの吸引を許容する一方で、ガスの吐出時に基端通路６及び中心通路７を切断して中心開口１０からのガスの吐出を拒絶する弁４と、を備えている。【選択図】図２</p> |
