光阻供应装置

摘要

本实用新型提供了一种光阻供应装置，包括光阻瓶、供液管路、存储槽以及缓冲槽，所述供液管路的一端连接所述光阻瓶，所述供液管路的另一端连接一机台，所述存储槽设置于所述供液管路上，所述缓冲槽设置于所述光阻瓶与存储槽之间的供液管路上，所述光阻瓶的开口朝下；在光阻瓶与存储槽之间的管路中安装有缓冲槽，可以临时存储管路中的气泡，排除切换光阻瓶时管路中产生的气泡，提高了光阻的利用率，减少成本；在光阻瓶与缓冲槽之间的供液管路中设置有用于监控光阻瓶中的光阻是否用完的第一流量传感器，如果光阻瓶为空瓶，监控装置发送信号给机台，从而提醒操作人员及时切换光阻瓶，提高了生产效率。

主权项

一种光阻供应装置，其特征在于，包括光阻瓶、供液管路、存储槽以及缓冲槽，所述供液管路的一端连接所述光阻瓶，所述供液管路的另一端连接一机台，所述存储槽设置于所述供液管路上，所述缓冲槽设置于所述光阻瓶与存储槽之间的供液管路上，所述光阻瓶的开口朝下。