氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法

摘要

本发明有效地抑制氧化硅玻璃坩埚的压曲以及侧壁部向坩埚内部的翻倒。另外，抑制在硅单晶上发生位错，从而提高单晶收率。提供一种用于单晶硅的提拉的氧化硅玻璃坩埚，其具备：具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部、由曲线构成的研钵状的底部、和连接侧壁部和底部的弯曲部。在通过该氧化硅玻璃坩埚的旋转轴的截面上，以弯曲部的内表面的曲率从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。

主权项

一种氧化硅玻璃坩埚，是用于单晶硅的提拉的氧化硅玻璃坩埚，其具备： 具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部， 由曲线构成的研钵状的底部，以及 连接所述侧壁部和所述底部的弯曲部，| 在经过所述氧化硅玻璃坩埚的旋转轴的截面上，所述弯曲部内表面的曲率以从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。