| 发明名称 | 横梁和用于处理衬底的设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种横梁和一种衬底处理设备。所述横梁包含：棱柱结构，所述棱柱结构具有正四方柱形状且由金属材料形成，所述棱柱结构通过将多个板形产品耦接而制造；以及碳纤维增强材料，所述碳纤维增强材料绕着所述棱柱结构的外侧缠绕若干次且重复地堆叠。 | ||
| 申请公布号 | CN104112689A | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201410156015.7 | 申请日期 | 2014.04.17 |
| 申请人 | AP系统股份有限公司 | 发明人 | 李锡政;朴商午 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 一种横梁，其特征在于包括：棱柱结构，所述棱柱结构具有正四方柱形状且由金属材料形成，所述棱柱结构通过将多个板形产品耦接而制造；以及碳纤维增强材料，所述碳纤维增强材料绕着所述棱柱结构的外侧缠绕若干次且重复地堆叠。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道华城市东滩面东滩产团8便道15-5 | ||