铜蚀刻废液的处理方法

摘要

本发明的课题是提供一种能将高浓度含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的过氧化氢加以有效分解处理的方法。本发明提供了一种铜蚀刻废液的处理方法，其是将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整为pH4以上。如将通常pH为3以下的属于强酸性液的铜蚀刻废液的pH调整为4以上，则会发生含有铜的SS(悬浮污泥)，且所发生的SS能作为过氧化氢的分解催化剂而发挥功能，因此，仅将铜蚀刻废液调整为pH4以上，不需要稀释或加热，并且，不需要调整pH的碱剂以外的药品，就能有效分解铜蚀刻废液中的过氧化氢。

主权项

一种铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，其是从含有过氧化氢的pH为3以下的铜蚀刻废液中分解除去过氧化氢的处理方法，并且其包含：将该铜蚀刻废液调整至pH6以上使以铜为主体的SS发生的工序，该工序中，在pH调整前，不使用分解过氧化氢的催化剂；以及使该发生的SS作为分解过氧化氢的催化剂来利用，分解该铜蚀刻废液中的过氧化氢的工序。