使用盘泵系统来供应减压并测量流量的系统和方法

摘要

多种盘泵系统和方法涉及以下一种盘泵系统，该盘泵系统包括一个具有第一致动器的第一盘泵以及一个具有第二致动器的第二盘泵。这些系统和方法利用传感器来测量这些致动器的位移并且利用一个处理器来根据这些致动器的所测量位移而确定跨过每个致动器的压差。这些盘泵通过一个已知限制装置流体性相联接，并且该处理器基于所确定的跨过每个致动器的压差以及该已知限制装置的特性来确定该盘泵系统的流速。

主权项

一种盘泵系统，包括具有一个第一致动器的一个第一盘泵；具有一个第二致动器的一个第二盘泵；具有一个已知限制装置的一个衬底，该第一盘泵和第二盘泵通过该已知限制装置流体性相联接；一个第一光学接收器，该第一光学接收器可操作来接收一个指示了该第一致动器的位移的第一反射光学信号并且将一个第一位移信号传送至一个处理器；以及一个第二光学接收器，该第二光学接收器可操作来接收一个指示了该第二致动器的位移的第二反射光学信号并且将一个第二位移信号传送至该处理器；该处理器联接至该第一盘泵、该第二盘泵、该第一光学接收器、以及该第二光学接收器上，并且被配置成用于：响应于接收到该第一位移信号来确定跨过该第一盘泵的第一压差；响应于接收到该第二位移信号来确定跨过该第二盘泵的第二压差；并且基于该第一压差和该第二压差来确定该盘泵系统的流体流速。