销高度测量用块

摘要

销高度测量用块，主要解决现有技术存在的测量误差大，对加热基座上表面易产生损伤的问题。该测量用块具有上、下两个表面，在测量用块下表面的中间部分设有一凹槽；在测量用块的一端设有一校准深度尺用的纵向豁口；骨头孔位于测量用块的上表面上，该端侧面设有一个横向豁口，该横向豁口贯穿整个测量块，与另一端的纵向豁口相互垂直。该横向豁口的上表面高于销的高度，而其下表面低于销的高度，使销的端面正好处于整个横向豁口之内，销孔位于骨头孔的下方，销孔和骨头孔分别位于该横向豁口的上方和下方。本发明是在利用深度尺对晶圆支撑销的高度进行定位测量时，采用的一个辅助工具。其测量结果准确，对加热基座上表面不会造成损伤，其性能优于单纯采用深度尺的测量效果。

主权项

一种销高度测量用块，其特征在于：该测量用块具有上、下两个表面，在测量用块下表面的中间部分设有一凹槽，在测量用块的一端设有一校准深度尺用的纵向豁口，其深度与测量用块高度一致，骨头孔位于测量用块的上表面上，该端侧面设有一个横向豁口，该横向豁口贯穿整个测量用块，与另一端的纵向豁口相互垂直，该横向豁口的上表面高于销的高度，而其下表面低于销的高度，使销的端面正好处于整个横向豁口之内，销孔位于骨头孔的下方，与骨头孔在长度方向上同心，在宽度方向上稍微偏离骨头孔的中心，销孔和骨头孔分别位于该横向豁口的上方和下方，骨头孔的下表面是该横向豁口的上表面，横向豁口的下表面是销孔的上表面，所述的骨头孔是一个在长度和宽度方向均稍大于深度尺外形尺寸的长方孔，其四角采用具有四个小直径的圆孔结构。