| 发明名称 | 涂覆用于机械系统的具有高摩擦性能的微机械部件的方法 | ||
| 摘要 | 一种涂覆微机械系统，特别是钟表机芯，的微机械元件的方法，其包括：提供待涂覆的基材（4）元件；给所述元件提供金刚石涂层（1）；其中金刚石涂层通过在反应室中用CVD（化学气相淀积）提供；并且，在化学气相淀积中，在生长过程的最后部分期间，在反应室内提供碳含量的受控改变，由此在表面附近提供sp2/sp3碳键（2）的变化。也提供了相应的微机械元件。 | ||
| 申请公布号 | CN102421936B | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201080020732.7 | 申请日期 | 2010.05.18 |
| 申请人 | 斯沃奇集团研究及开发有限公司 | 发明人 | D.施泰因米勒;D.施泰因米勒;H.德雷克塞尔;S.戈德巴内;D.理查德;P.库辛 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 韦欣华;杨思捷 |
| 主权项 | 涂覆微机械系统的微机械元件的方法，其包括： ‑提供待涂覆的基材（4）元件； ‑给所述元件提供给定最终厚度的金刚石涂层（1）； 其中： ‑所述金刚石涂层（1）通过化学气相淀积在反应室中提供； 其中在所述化学气相淀积过程的初始阶段，只有sp3杂化碳沉积在基材上，其具有第一厚度； 并且在化学气相淀积过程的第二阶段中，在反应室内提供碳含量的受控改变，由此在表面附近提供sp2/sp3碳（2）键的变化，其具有第二厚度，其中sp2/sp3碳（2）键的变化指的是向着外表面sp2杂化碳含量逐渐增加。 | ||
| 地址 | 瑞士马林 | ||