发明名称 底盘调整工具
摘要 本实用新型提供了一种底盘调整工具,所述底盘调整工具包括:主体座,所述主体座上设置有孔洞,所述孔洞的位置与底盘上的针脚的标准位置对应,所述孔洞的深度大于所述针脚的高度;及标尺,所述标尺容置于所述孔洞内并且能够在所述孔洞内上下移动。在本实用新型提供的底盘调整工具中,通过孔洞的位置与底盘上的针脚的标准位置对应,可以据此判定针脚是否处于标准位置(通常为竖直);而通过标尺可以判定(多个)针脚是否处于同一高度,由此可见,通过底盘调整工具能够方便准确的判定出框架和底盘之间是否满足标准,从而能够快速的完成SMIF的检查,降低人力资源的占用。
申请公布号 CN203895421U 申请公布日期 2014.10.22
申请号 CN201420313543.4 申请日期 2014.06.12
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 苏陶炯;闫晓东;刘彬;任全志;严峻
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种底盘调整工具,其特征在于,包括:主体座,所述主体座上设置有孔洞,所述孔洞的位置与底盘上的针脚的标准位置对应,所述孔洞的深度大于所述针脚的高度;及标尺,所述标尺容置于所述孔洞内并且能够在所述孔洞内上下移动。
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