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发明名称 半導体装置
摘要
申请公布号 JP5613290(B2) 申请公布日期 2014.10.22
申请号 JP20130109879 申请日期 2013.05.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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