金属有机化合物化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种腔室组件，包括：腔室外筒，所述腔室外筒内限定有用作反应腔的外筒腔；感应线圈，所述感应线圈环绕所述腔室外筒设置；和石墨套筒，所述石墨套筒套设在所述腔室外筒的外筒腔内。根据本发明实施例的腔室组件，通过在托盘与感应线圈之间设有石墨套筒，石墨套筒比托盘更靠近感应线圈，因此使石墨套筒在托盘之前被感应线圈感应加热，从而石墨套筒可在托盘的周围形成一个热壁，进而使得托盘非常易被加热并保温，提高了感应加热效率。本发明还公开了一种具有上述腔室组件的金属有机化合物化学气相沉积设备。

主权项

一种金属有机化合物化学气相沉积设备，其特征在于，包括：腔室组件，包括腔室外筒、感应线圈和石墨套筒，所述腔室外筒内限定有用作反应腔的外筒腔，所述感应线圈环绕所述腔室外筒设置，所述石墨套筒套设在所述腔室外筒的外筒腔内；和多层托盘，所述多层托盘沿所述腔室组件的所述外筒腔的轴向间隔设置在所述反应腔内。