发明名称 |
氧化硅玻璃坩埚 |
摘要 |
本发明有效抑制氧化硅玻璃坩埚12的压曲或者向侧壁部15的坩埚内部的翻倒。提供一种氧化硅玻璃坩埚12,其具备:具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部15、由曲线构成的研钵状的底部16、和连接侧壁部15和底部16的弯曲部17。该氧化硅玻璃坩埚12中,侧壁部15的厚度方向的每单位面积的热阻大于弯曲部17的厚度方向的每单位面积的热阻。 |
申请公布号 |
CN104114754A |
申请公布日期 |
2014.10.22 |
申请号 |
CN201280065351.X |
申请日期 |
2012.10.31 |
申请人 |
株式会社SUMCO |
发明人 |
须藤俊明;佐藤忠广;北原贤;吉冈拓麿;岸弘史 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 |
代理人 |
翟羽 |
主权项 |
一种氧化硅玻璃坩埚,是用于单晶硅的提拉的氧化硅玻璃坩埚,其具备: 具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部, 由曲线构成的研钵状的底部,以及 连接所述侧壁部和所述底部的弯曲部, 其中,所述侧壁部的厚度方向的每单位面积的热阻大于所述弯曲部的厚度方向的每单位面积的热阻。 |
地址 |
日本秋田县秋田市茨岛5-14-3 |