磁控溅射阴极靶材的密封结构

摘要

本发明涉及磁控溅射阴极靶材的密封结构。包括靶材和阴极座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板与阴极座之间设有导磁不锈钢密封板，所述的导磁不锈钢密封板与阴极座之间设有密封两者的第一密封圈，所述的导磁不锈钢密封板及靶背板分别与阴极座固定连接。由上述技术方案可知，本发明通过在阴极座与靶背板之间增设一个导磁不锈钢密封板，且该导磁不锈钢密封板与阴极座相密封固定，这样在日常对靶背板进行检查、维修等操作时，直接将靶背板与阴极座相拆卸即可，整个拆卸过程不会影响到阴极座与导磁不锈钢密封板之间的密封圈，避免了对密封圈的损害，提高了密封圈的使用寿命，减少了日常的使用成本。

主权项

一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，包括靶材（1）和阴极座（2），所述的靶材（1）固定在靶背板（3）上，其特征在于：所述的靶背板（3）与阴极座（2）之间设有导磁不锈钢密封板（4），所述的导磁不锈钢密封板（4）与阴极座（2）之间设有密封两者的第一密封圈（5），所述的导磁不锈钢密封板（4）及靶背板（3）分别与阴极座（2）固定连接。