平面研磨机的下盘驱动结构

摘要

本实用新型是一种平面研磨机的下盘驱动结构。包括研磨盘、机架、力矩电机，其中力矩电机为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台为一体结构，转台是力矩电机的转子，支撑盘固定在转台上，转台由转台轴承的内圈支撑，转台轴承的外圈固定在力矩电机的外壁上，转子在水平方向由双列圆柱滚子轴承固定，转台转动带动支撑盘转动，冷却盘固定在支撑盘上，研磨盘固定在冷却盘上，研磨盘设有的冷却回路经过转台，转台的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器，定子的下端为电机端盖，力矩电机固定在机架上。本实用新型传动链短，低转速、大扭矩、过载能力强、响应快，能实现无极调速；且振动小，噪声小，加工过程平稳，加工精度高。

主权项

一种平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于包括有研磨盘（1）、机架（5）、力矩电机（7）,其中力矩电机（7）为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台（4）为一体结构，转台（4）是力矩电机（7）的转子,支撑盘（3）固定在转台（4）上, 转台（4）由转台轴承（6）的内圈支撑，转台轴承（6）的外圈固定在力矩电机（7）的外壁上，转子（4）在水平方向由双列圆柱滚子轴承（9）固定，转台（4）转动带动支撑盘（3）转动，冷却盘（2）固定在支撑盘（3）上，研磨盘（1）固定在冷却盘（2）上, 研磨盘（1）设有的冷却回路经过转台（4），转台（4）的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器（12），定子（11）的下端为电机端盖（13），力矩电机（7）固定在机架（5）上，机架（5）上开有研磨废液流出管道（8）。