金属可编程熔丝器件制作方法

摘要

一种金属可编程熔丝器件制作方法，包括：将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域；在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属；对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影。本发明在金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属，从而提高金属熔丝边缘的粗糙度，使得金属可编程熔丝器件中的电流密度变化增大，以增强金属可编程熔丝器件的熔断性能。

主权项

一种金属可编程熔丝器件制作方法，其特征在于，包括：将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域；在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属；对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影；在对所属金属可编程熔丝区域进行光刻时，所述附加空置下层金属对光线形成干涉，使得金属可编程熔丝区域的典型尺寸发生变化；所述附加空置下层金属以垂直于原金属可编程熔丝器件方向设置。