| 发明名称 | 一种曝光机 | ||
| 摘要 | 本发明涉及工程曝光设备技术领域，公开了一种曝光机。所述曝光机包括：载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点。另外，曝光机采用竖直曝光的方式，仅需在现有的光源装置中增加一个三棱镜，就可以实现双向曝光，大大提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103019041B | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201210489221.0 | 申请日期 | 2012.11.26 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 陆忠;李炳天;黄丽娟;靳福江 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种曝光机，其特征在于，包括：载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面；水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||