一种基于镍微针锥同种结构的固态超声键合方法

摘要

本发明公开了一种基于镍微针锥同种结构的固态超声键合方法，包括步骤如下：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶的其中一侧焊盘上形成镍微针锥；在待键合偶的另一侧焊盘上形成相同形貌的镍微针锥；将待键合偶一侧元件吸附在键合装置压头表面；将待键合偶两侧的焊盘对准，使两侧镍微针锥匹配接触，向待键偶一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得两侧镍微针锥互连键合。本发明的工艺过程简单，无需加热及助焊剂，可以避免对器件产生热损伤，提高产品可靠性；微针锥结构的使用缩短了超声键合的时间，提高了互连的有效性和键合密度。

主权项

一种基于镍微针锥同种结构的固态超声键合方法，其特征在于，包括步骤如下：1）选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；2）在待键合偶的其中一侧的电互连焊盘上形成镍微针锥；3）在待键合偶的另一侧的电互连焊盘上形成相同形貌的镍微针锥；4）将待键合偶一侧元件吸附在键合装置压头表面；5）将待键合偶两侧的电互连焊盘对准，使两侧镍微针锥匹配接触，向待键偶一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得两侧镍微针锥互连键合。