应力迁移测试结构

摘要

本实用新型提供了一种应力迁移测试结构，在对连接第n层金属互连线与第n-1层金属互连线的通孔阻值进行测试时，通过将第n层金属互连线与第1层金属互连线间的所有通孔阻值减去第n-1层金属互连线与第1层金属互连线间的所有通孔阻值实现，由此能避免由于通孔阻值过小而不能精确判断应力迁移情况的问题，该方案对提高UTM，RDL等新工艺中的大尺寸小电阻的通孔的应力迁移表征的精确度尤高。此外，n层金属互连线的测试中，仅需2n个测试信号接入点，相对于现有的需要4(n-1)个测试信号接入点而言，减少了测试信号接入点，从而减少了对于晶圆切割道的占用。同时可以连接不同的信号接入端，实现部分和整体通孔应力水平的表征。

主权项

一种应力迁移测试结构，其特征在于，包括：n层金属互连线，每层金属互连线两端各连接一测试信号接入点，每相邻两层金属互连线之间通过一通孔连接，其中，n为大于等于2的整数。