半导体镀膜设备用高温观察盖板

摘要

一种半导体镀膜设备用高温观察盖板，主要解决现有设备反应腔体的高温工艺过程是不可观察的状况。结构中的可视部分选用了透明的光学用石英玻璃，这样能直接观察机械手的传片、放片及取片的过程、硅片镀膜的工艺过程及陶瓷件偏移或碎裂的过程等。它包括把手、金属环、平头螺钉、金属压板、塑料板、石英玻璃板、垫片、螺钉及密封圈。上述金属环的密封槽内嵌入密封圈，在嵌入密封圈的金属环的端面上设有石英玻璃，石英玻璃上面设有垫圈，将金属压板压在垫圈上，再对角拧紧螺钉，然后用平头螺钉将塑料板固定在金属压板的上面。本实用新型结构合理，可广泛用于半导体薄膜沉积技术领域。

主权项

一种半导体镀膜设备用高温观察盖板，包括把手（1），其特征在于：它还包括金属环（2）、平头螺钉（3）、金属压板（4）、塑料板（5）、石英玻璃板（6）、垫片（7）、螺钉（8）及密封圈（9），上述金属环（2）的密封槽内嵌入密封圈（9），在嵌入密封圈（9）的金属环（2）的端面上设有石英玻璃（6），石英玻璃（6）上面设有垫圈（7），将金属压板（4）压在垫圈（7）上，再对角拧紧螺钉（8），然后用平头螺钉（3）将塑料板（5）固定在金属压板（4）的上面。