| 发明名称 | 一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图，包括划片槽和光刻标记，所述光刻版图上设置有用于解理的划片槽，所述划片槽围成光刻激光器图形区域，所述激光器图形区域上设置有光刻标记。本实用新型在半导体制造工艺中光刻版图上设置光刻标记，能够使激光器封装中更容易区分激光器管芯的放置方向。 | ||
| 申请公布号 | CN203894532U | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201420167543.8 | 申请日期 | 2014.04.08 |
| 申请人 | 北京牡丹电子集团有限责任公司 | 发明人 | 崔碧峰;李佳莼;徐旭红;计伟 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人 | 杨立 |
| 主权项 | 一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图，其特征在于：包括划片槽（1）和光刻标记（3），所述光刻版图上设置有划片槽（1），所述划片槽（1）围成光刻激光器图形区域（2），所述光刻激光器图形区域（2）上设置有光刻标记（3）。 | ||
| 地址 | 100191 北京市海淀区花园路2号 | ||