| 发明名称 | 颗粒收集装置及尾气处理系统 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种颗粒收集装置以及设有该颗粒收集装置的尾气处理系统，属于半导体加工技术领域。解决了现有的颗粒收集装置难以有效地收集尾气中的颗粒物，导致进入下一阶段的尾气处理装置中的尾气仍然具有很高颗粒度的技术问题。该颗粒收集装置，包括管道本体和滤网；所述管道本体的下方为进气口，上方为出气口；所述滤网设置于所述管道本体的内部，并且罩住所述出气口。本发明用于对半导体刻蚀工艺中产生的尾气进行处理。 | ||
| 申请公布号 | CN104107601A | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201310141393.3 | 申请日期 | 2013.04.22 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 侯宁 |
| 分类号 | B01D46/24(2006.01)I;B01D50/00(2006.01)I | 主分类号 | B01D46/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种颗粒收集装置，其特征在于：包括管道本体和滤网；所述管道本体的下方为进气口，上方为出气口；所述滤网设置于所述管道本体的内部，并且罩住所述出气口。 | ||
| 地址 | 100026 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 | ||