一种石英微机械加速度计敏感结构的保护装置及加工方法

摘要

本发明涉及一种石英微机械加速度计敏感结构的保护装置及加工方法，保护装置选取与敏感结构相同材质、切型的石英晶体为基材，采用高精度光刻工艺制作图形，利用湿法刻蚀工艺加工而成，利用环氧胶粘接的方式装配敏感结构和保护结构，形成上、下层为保护结构，中间层为敏感结构的三层装配结构，上、下层的保护结构对中间层敏感结构上的质量块起到限位保护的作用，同时保护装置上刻蚀一定深度的凹槽区，为敏感结构质量块的变形提供空间，同时借助光学显微系统实现了较高的对准精度，本发明保护装置有效地提高了敏感结构的抗冲击性能，避免了热膨胀系数差异而产生的应力，提高了敏感结构的可靠性，且装配精度较高，工艺简单，易于实现。

主权项

一种石英微机械加速度计敏感结构的保护装置，其特征在于：包括上保护层(10a)和下保护层(10b)，其中上保护层(10a)和下保护层(10b)结构相同且对称装配在敏感结构(1)的两面，上保护层(10a)和下保护层(10b)均包括限位保护区(11)，支撑区(12)和粘接区(13)，其中支撑区(12)对称设置在限位保护区(11)的两侧，粘接区(13)设置在支撑区(12)上，限位保护区(11)与粘接区(13)均为凹槽结构，当上保护层(10a)、下保护层(10b)与敏感结构(1)装配时，上保护层(10a)、下保护层(10b)的X侧面(17)与敏感结构(1)的X侧面(18)对准，上保护层(10a)、下保护层(10b)的Y侧面(15)与敏感结构(1)的Y侧面(16)对准，粘接区(13)与敏感结构(1)的固支臂(3)粘接，限位保护区(11)的凹槽结构为敏感结构(1)的质量块(9)提供位移变形所需的空间，并为质量块(9)提供过载荷限位保护。