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发明名称
カバー、基板テーブル、および基板を装着する方法
摘要
A cover is provided for a substrate table in an immersion lithographic apparatus that covers at least the gap between a substrate and a recess in a substrate table in which the substrate is received.
申请公布号
JP5611865(B2)
申请公布日期
2014.10.22
申请号
JP20110050948
申请日期
2011.03.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/683
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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