发明名称 | 麦克风模块及其制造方法 | ||
摘要 | 本申请涉及一个麦克风模块,其包括,包括半导体芯片且上表面具有凹槽的封装体,和电连接至所述封装体的微机电麦克风。另外,所述微机电麦克风被置于所述封装体的上表面。所述凹槽构成所述微机电麦克风的声学后腔。 | ||
申请公布号 | CN104113808A | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
申请号 | CN201410158051.7 | 申请日期 | 2014.04.18 |
申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | J·赫格尔;H·托伊斯 |
分类号 | H04R19/04(2006.01)I;H04R31/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 郑立柱 |
主权项 | 一种麦克风模块,包括:上表面具有凹槽的封装体;嵌入所述封装体的半导体芯片;以及微机电麦克风芯片,其包括置于所述凹槽上的机电元件,并且所述微机电麦克风芯片电连接到所述半导体芯片。 | ||
地址 | 德国诺伊比贝尔格 |