发明名称 麦克风模块及其制造方法
摘要 本申请涉及一个麦克风模块,其包括,包括半导体芯片且上表面具有凹槽的封装体,和电连接至所述封装体的微机电麦克风。另外,所述微机电麦克风被置于所述封装体的上表面。所述凹槽构成所述微机电麦克风的声学后腔。
申请公布号 CN104113808A 申请公布日期 2014.10.22
申请号 CN201410158051.7 申请日期 2014.04.18
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 J·赫格尔;H·托伊斯
分类号 H04R19/04(2006.01)I;H04R31/00(2006.01)I 主分类号 H04R19/04(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 郑立柱
主权项 一种麦克风模块,包括:上表面具有凹槽的封装体;嵌入所述封装体的半导体芯片;以及微机电麦克风芯片,其包括置于所述凹槽上的机电元件,并且所述微机电麦克风芯片电连接到所述半导体芯片。
地址 德国诺伊比贝尔格