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发明名称
JET TYPE PLASMA GENERATOR WITH CURVED-SHAPED DRIVING ELECTRODE
摘要
申请公布号
KR101453856(B1)
申请公布日期
2014.10.22
申请号
KR20130022988
申请日期
2013.03.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/26
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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