| 发明名称 | 一种硬质皮膜及硬质皮膜形成用靶 | ||
| 摘要 | 本发明作为一种具有良好的耐热氧化性的硬质皮膜及用于形成该硬质皮膜的靶，提供具有下述组成的硬质皮膜：(Cr<sub>a</sub>Al<sub>b</sub>Ti<sub>c</sub>Nb<sub>d</sub>)(C<sub>1-e-f</sub>N<sub>e</sub>O<sub>f</sub>)，在这里，a是Cr的原子比、b是Al的原子比、c是Ti的原子比以及d是Nb的原子比、并且e是N的原子比以及f是O的原子比，这些满足0.01＜a＜0.40、0.25＜b＜0.65、0.0＜c、0.0＜d、0.20＜c+d＜0.65、a+b+c+d＝1.0、0.0≤e≤1.0、0.0≤f≤1.0以及0.0≤e+f≤1.0。 | ||
| 申请公布号 | CN104114739A | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201380009513.2 | 申请日期 | 2013.01.17 |
| 申请人 | 油研工业股份有限公司 | 发明人 | 大口优幸;青松明宏 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人 | 吴开磊 |
| 主权项 | 具有下述组成的硬质皮膜：(Cr<sub>a</sub>Al<sub>b</sub>Ti<sub>c</sub>Nb<sub>d</sub>)(C<sub>1‑e‑f</sub>N<sub>e</sub>O<sub>f</sub>)在这里，a是Cr的原子比、b是Al的原子比、c是Ti的原子比以及d是Nb的原子比、并且e是N的原子比以及f是O的原子比，这些满足0.01＜a＜0.40、0.25＜b＜0.65、0.0＜c、0.0＜d、0.20＜c+d＜0.65、a+b+c+d＝1.0、0.0≤e≤1.0、0.0≤f≤1.0、以及0.0≤e+f≤1.0。 | ||
| 地址 | 日本爱知县刈谷市野田町场割50番地 | ||