摘要 |
<p>【課題】可動子を無接触状態で芯ブレせずに駆動させてワークを着脱自在に粘着保持する。【解決手段】アクチュエータAの伸縮部10として、複数のベローズ11,11′が内外へ同心状に配置されるため、ベローズ11,11′を伸縮変形させることにより、伸縮部10の全体が伸縮変形方向(Z方向)以外のXYθ方向へ全く変形しないため、ベローズ11,11′の昇降部20を介して可動子40が、伸縮部10の中心空間12内で、伸縮変形方向(Z方向)以外のXYθ方向へは芯ブレせずに往復動する。伸縮部10の伸縮変形に伴い可動子40の押圧部41をワークWと接触させることで、粘着部材70による粘着保持などが行われる。これと逆の伸縮部10の伸縮変形に伴い可動子40の押圧部41をワークWから離すことで、粘着部材70との剥離開放などが行われる。【選択図】図1</p> |