一种基于柔顺机构的大行程平面三自由度精密定位平台

摘要

本发明公开了一种基于柔顺机构的大行程平面三自由度精密定位平台，包括定平台、置于定平台上的动平台、以及用于驱动动平台运动的传递机构，传递机构包括三个并联的两级杠杆式放大机构，其沿定平台中心呈120°角分布在动平台的周围。通过两级杠杆式放大机构来传递运动，实现了动平台行程大、精度高、响应快等优点，有效扩展了动平台的工作空间。拆卸式连接组件能够快速更换动平台，根据实际定位空间的需要设计特定结构的动平台，并设计特定的底部定平台与之组合。采用柔顺铰链作为转动副，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度和高稳定性度。可广泛应用于精密定位、精密与超精密加工、精密操作、精密测量及微机电系统等相关领域。

主权项

一种基于柔顺机构的大行程平面三自由度精密定位平台，包括定平台、置于定平台上的动平台、以及用于驱动动平台运动的传递机构，其特征在于：所述传递机构包括三个并联的两级杠杆式放大机构，其沿定平台中心呈120°角分布在动平台的周围。