处理多晶硅尾气干法回收料的系统

摘要

本实用新型公开了一种处理多晶硅尾气干法回收料的系统，包括：第一加热装置，具有回收料入口、第一加热处理的回收料出口、第一壳程入口和第一壳程出口；第二加热单元，具有第一加热处理的回收料入口、第二加热处理的回收料出口、第二壳程入口和第二壳程出口，第一加热处理的回收料入口与第一加热处理的回收料出口相连；第一精馏单元，具有经过第二加热处理的回收料入口、第一塔顶蒸汽出口和第一塔釜液出口，第二加热处理的回收料入口与第二加热处理的回收料出口相连，第一塔釜液出口与第二壳程入口相连；以及第二精馏装置，具有物料入口、液态轻组分出口和第二塔釜液出口，物料入口与第一塔顶蒸汽出口相连，第二塔釜液出口与第一壳程入口相连。

主权项

一种处理多晶硅尾气干法回收料的系统，其特征在于，包括：第一加热装置，所述第一加热装置具有回收料入口、经过第一加热处理的回收料出口、第一壳程入口和第一壳程出口；第二加热单元，所述第二加热单元具有经过第一加热处理的回收料入口、经过第二加热处理的回收料出口、第二壳程入口和第二壳程出口，所述经过第一加热处理的回收料入口与所述经过第一加热处理的回收料出口相连；第一精馏单元，所述第一精馏单元具有经过第二加热处理的回收料入口、第一塔顶蒸汽出口和第一塔釜液出口，所述经过第二加热处理的回收料入口与所述经过第二加热处理的回收料出口相连，所述第一塔釜液出口与所述第二壳程入口相连；以及第二精馏装置，所述第二精馏装置具有物料入口、液态轻组分出口和第二塔釜液出口，所述物料入口与所述第一塔顶蒸汽出口相连，所述第二塔釜液出口与所述第一壳程入口相连。