微观检测机台

摘要

本实用新型提供了一种微观检测机台，通过镜头上设置光控片，控制台中记录有待检晶圆的规定检测区域并且控制镜头的移动，当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的规定检测区域时，所述光控片透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区域在所述镜头中不显示，由此便可在镜头中清楚、明确的区分显示出规定检测区域，从而方便了目检人员进行检测。

主权项

一种微观检测机台，其特征在于，包括：基座；设置于所述基座上的载物台，所述载物台承载待检晶圆；设置于所述基座上的镜头；设置于所述镜头上的光控片；以及设置于所述基座上的控制台，所述控制台中记录有所述待检晶圆的规定检测区域，所述控制台控制所述镜头的移动；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的规定检测区域时，所述光控片透光，所述规定检测区域在所述镜头中显示；当所述控制台控制所述镜头移动到所述待检晶圆的剩余区域时，所述光控片不透光，所述剩余区域在所述镜头中不显示。