霍尔维克泵级的定子元件及制造方法和带该泵级的真空泵

摘要

霍尔维克泵级的定子元件及制造方法和带该泵级的真空泵。本发明涉及用于霍尔维克泵级的具有实质上圆柱套形状的基础形状的定子元件或者涉及用于霍尔维克泵级的具有实质上圆柱套形状的基础形状的定子元件的一套部件，其中所述定子元件或该套部件包括被彼此分开的多个定子部件，多个定子部件被装配以形成定子元件或可以被装配以形成定子元件。本发明还涉及一种具有霍尔维克泵级的真空泵和制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法。

主权项

一种用于霍尔维克泵级的定子元件，所述定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状，或者用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件，所述定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状，其中所述定子元件或该一套部件包括被装配以形成所述定子元件或能够被装配以形成所述定子元件的多个相互独立的定子部件（12、12'、12''）。