一种单晶或多晶硅料表面打磨装置

摘要

本实用新型涉及一种单晶或多晶硅料表面打磨装置，该装置的移动平台的上部设有升降器，螺帽固定在升降器上，升降螺杆设在螺帽中，曲柄螺杆通过组合齿轮与升降螺杆相啮接，在升降器上设有转轴，若干刀片并列设在转轴上，在若干刀片的上部设有喷水管。采用本实用新型，可以直接将待打磨的单晶或多晶硅料送入移动平台，通过若干并列的刀片对硬度很高的单晶或多晶硅料表面进行打磨，既快捷又方便，能提高打磨效率，降低生产成本。

主权项

一种单晶或多晶硅料表面打磨装置，其特征在于在移动平台的上部设有升降器，螺帽固定在升降器上，升降螺杆设在螺帽中，曲柄螺杆通过组合齿轮与升降螺杆相啮接，在升降器上设有转轴，若干刀片并列设在转轴上，在若干刀片的上部设有喷水管。