发明名称 |
喷墨涂布装置及方法 |
摘要 |
提供在宽度、高度方向可以高精确度均匀涂布的喷墨涂布装置及方法。;各涂布头(15),被配列于X轴方向,各4个构成1个群。于同一群,涂布头(15)之于Y轴方向之位置互异,于群间,在Y轴方向同一位置之涂布头存在各1个。不同群之Y轴方向之同一位置之各1个涂布头(15),系搭载于同一Z轴保持平板(20bc)。各涂布头(15)具备微动Z轴驱动手段(20a),可以个别移动于Z轴方向。另外,对应于Z轴保持平板(20bc)之每一个,设置个别Z轴驱动手段(20b1),如此则,Z轴保持平板(20bc)可以个别移动于Z轴方向。另外,设置共通Z轴驱动手段(30),如此则,全部之Z轴保持平板(20bc),可使全部之涂布头(15)同时移动于Z轴方向。 |
申请公布号 |
TWI457184 |
申请公布日期 |
2014.10.21 |
申请号 |
TW100120142 |
申请日期 |
2011.06.09 |
申请人 |
日立制作所股份有限公司 日本 |
发明人 |
德安良纪;山本英明;渡濑直树;松井淳一;中村秀男 |
分类号 |
B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
主分类号 |
B05C5/02 |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
主权项 |
一种喷墨涂布装置,系具备:吸附平台,用于吸附保持涂布对象物;复数个涂布头,用于由喷墨式喷嘴将涂布材吐出至被吸附保持于该吸附平台的该涂布对象物表面而进行涂布;移动框架(gantry)构造体,用于使该涂布头在该涂布对象物之上方位置,于水平面内和该涂布对象物之搬送方向的X轴方向呈正交之Y轴方向移动;X轴驱动手段,用于使该涂布头个别移动于该X轴方向;第1之Z轴驱动手段,用于使该涂布头个别移动于和该水平面垂直之Z轴方向;及θ轴驱动手段,用于使该涂布头个别移动于和该水平面平行之θ轴方向;该涂布头可于XYZθ轴方向于空间内移动,其特征为:藉由该X轴驱动手段,对应于该复数个涂布头之每一个个别地,使该涂布头与该第1之Z轴驱动手段同时移动于X轴方向;另外,藉由θ轴驱动手段,使该X轴驱动手段和该涂布头以及该第1之Z轴驱动手段成为一体而旋转。 |
地址 |
日本 |