半导体制造与测试制程之冷却系统

摘要

本发明是有关于一种半导体制造与测试系统之冷却系统，其包括一涡流管单元，且其对应半导体制程元件来执行半导体制程之功能，此涡流管单元包括一接受压缩空气之入口；一热空气排出管，其排气温度高于此接收压缩空气；一冷空气排出管，其排气温度低于此接收压缩空气；与一包覆在此冷空气排出管之乾空气管，其连接至一空气压缩单元与此涡流管单元，因为此乾空气连续地流过此冷空气排出管，所以在此冷空气排出管周围不会有水气凝结，如此一来，即不会对此半导体制造与测试元件造成污染与损害。

主权项

一种冷却系统，特别是用于半导体制造与测试制程之冷却系统，其包括：一涡流管单元，其从一空气入口接受一压缩空气；一热空气排出管，其排出一温度高于此压缩空气之热空气流；一冷空气排出管，其排出一温度低于此压缩空气之冷空气流；一乾空气管，其包覆于此冷空气排出管外，其中有一从此压缩空气分流之一乾空气，此乾空气在此乾空气管内沿着此冷空气排出管外部流过；以及一空气压缩系统，其提供此压缩空气至此涡流管单元与此乾空气管。