发明名称 感放射线性树脂组成物、有机EL显示元件用隔壁及绝缘膜、以及其形成方法
摘要 本发明的目的系提供一种感放射线性树脂组成物,其具有充分解像度,同时具有对于光阻剥离液等的高耐性,且兼具优异之放射线感度与加热时的高遮光性。;本发明系一种隔壁及绝缘膜形成用感放射线性树脂组成物,其含有:;[A]硷可溶性树脂,其系将含有(a1)不饱和羧酸及/或不饱和羧酸酐、以及(a2)选自下述式(I)所示含酚骨架不饱和化合物、下述式(II)所示化合物及下述式(III)所示化合物所构成群组之化合物的单体予以共聚而成的共聚物,;[B]1,2-醌二叠氮基化合物,及;[C]感热色素。
申请公布号 TWI457703 申请公布日期 2014.10.21
申请号 TW099109302 申请日期 2010.03.29
申请人 JSR股份有限公司 日本 发明人 花村政晓;丸山拓之
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/40;H01L21/027;H01L51/50;H01L21/312 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;丁国隆 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种感放射线性树脂组成物,其含有:[A]硷可溶性树脂,其系将含有(a1)选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐之至少一者、以及(a2)选自下述式(I)所示含酚骨架不饱和化合物、下述式(II)所示化合物及下述式(III)所示化合物所构成的群组之化合物的单体予以共聚而成之共聚物,[B]1,2-醌二叠氮基化合物,及[C]感热色素,其中相对于[A]成分之硷可溶性树脂100质量份,[B]成分之1,2-醌二叠氮基化合物之含量为5质量份以上100质量份以下;相对于[A]成分之硷可溶性树脂100质量份,[C]成分之感热色素之含量为0.1质量份以上30质量份以下;(式(I)中,R1为氢原子或碳数1至4之烷基;R2~R6系相同或相异,为氢原子、羟基或碳数1至4之烷基;B为单键、-COO-、或-CONH-;m为0至3之整数,但R2至R6之至少1个为羟基;式(II)中,R1为氢原子或碳数1至4之烷基;Y1及Y2系相同或相异,为氢原子或碳数1至6之烷基;X1至X4系相同或相异,为氢原子、碳数1至4之烷基或卤素原子;Z为单键或-O(CH2)w-,w为1至6之整数;式(III)中,R1为氢原子或碳数1至4之烷基;Z为单键或-O(CH2)w-,w为1至6之整数)。
地址 日本