氧化矽玻璃坩埚制造方法及氧化矽玻璃坩埚制造装置

摘要

为在制造氧化矽玻璃坩埚时能够准确测量制造中的温度。本发明提供一种氧化矽玻璃坩埚制造装置，该装置藉由向坩埚形成用模具内供给氧化矽粉末来形成氧化矽粉层，藉由电弧放电加热熔化该氧化矽粉层来制造氧化矽玻璃坩埚，该装置具备：供给氧化矽粉末来形成氧化矽粉层的模具；具备多根碳电极及电力供给部的电弧放电部；以及至少测量该模具内熔化部分温度的温度测量部，该温度测量部系藉由检测波长4.8～5.2μm的辐射能量来测量温度的辐射温度计。

主权项

一种氧化矽玻璃坩埚制造装置，包括：供给氧化矽粉来形成氧化矽粉层的坩埚成形用模具；具备多个碳电极及电力供给部，且藉由电弧放电对上述氧化矽粉层进行加热熔化的电弧放电部；以及至少对该模具内熔化部分进行温度测量的温度测量部，其中，该温度测量部系藉由检测波长4.8～5.2μm的辐射能量来测量温度的辐射温度计。