物件表面之倾斜角的侦测方法、补偿方法及其系统

摘要

一种物件表面之倾斜角的侦测方法、补偿方法及其系统。侦测方法包括下列步骤。透过光源装置以投射多个光束至物件表面。撷取所述物件表面的影像，以获得这些光束于物件表面上所产生的多个光点。调整光源装置与物件表面之间的垂直距离以进行聚焦程序，使物件表面上的这些光点聚集于一焦聚点。调整此垂直距离并依据这些光点来计算这些光束与物件表面之间的补正角度。

主权项

一种物件表面之倾斜角的侦测方法，包括：透过一光源装置以投射多个光束至一物件表面，其中该些光束的数量大于等于3；撷取该物件表面的一影像，以获得该些光束于该物件表面上所产生的多个光点；调整该光源装置与该物件表面之间的一垂直距离以进行一聚焦程序，使该物件表面上的该些光点聚集于一焦聚点；以及调整该垂直距离并依据该些光点来计算该些光束与该物件表面之间的一补正角度。