直流电源装置

摘要

提供一种：能够施加正电压而将电弧放电消弧，并且在将电弧放电消弧后，当回复至通常动作时，能够对于电弧放电之再度发生确实地作抑制之直流电源装置。;直流电源装置，系具备有对于靶材投入电力之直流电源部、和电弧检测部、和被串联设置于负的输出处之第1切换元件(SW1)、和被并联设置于正负之两输出间的第2切换元件(SW2)以及施加逆电压的逆电压施加部、以及控制手段(4)。在通常动作时，于藉由第2切换元件来将从逆电压施加部所对于电极之逆电压的施加停止了的状态下，藉由第1切换元件来对于前述电极作通电，若是检测出电弧放电，则藉由第2切换元件来从逆电压施加部而对于电极作通电，并施加特定期间之逆电压，于经过此期间后，藉由第1切换元件来将对于电极之通电作特定期间之遮断，而后，再度开始对于电极之通电。

主权项

一种直流电源装置，其特征为，具备有：对于与电浆负载作接触的电极投入电力之直流电源部；和将从前述直流电源部而来之正负的输出所在电极处产生之电弧放电检测出来之电弧检测部，并且，系更进而具备有：在从前述直流电源部而来之正负的输出中之其中一方处而被与电浆负载串联地作设置之第1切换元件；和在正负之两输出间，被与电浆负载并联地作设置之第2切换元件以及施加逆电压之逆电压施加部；和对于两切换元件之ON、OFF的切换作控制之控制手段，前述控制手段，系在对于电极投入电力之通常动作时，于藉由第2切换元件而停止了从逆电压施加部所对于电极之逆电压之施加的状态下，藉由第1切换元件来对于前述电极作通电，当对于与电浆负载相接触之电极施加负的电压的情况时，若是藉由电弧检测部而检测出电弧放电，则系进行电弧处理，其系藉由第2切换元件来从逆电压施加部而对于电极作通电，并施加特定期间之逆电压，经由此，来进行电弧放电之消弧，并于经过此期间后，藉由第1切换元件来将对于电极之通电作特定期间之遮断，而后，再度开始对于电极通电。