校准标记及制造方法

摘要

一种将金属铜运用在校准标记，并可适用于现有的铜制程。在一实施例中，若将整片金属铜运用在校准标记的背景，可固定背景的颜色，而不须考虑制程上均匀性的问题，并增强与校准标记主体样式的对比。若运用在液晶显示器，则具有提升液晶显示器驱动积体电路(IC)与面板压合的对准辨识成功率。

主权项

一种校准标记，适用于积体电路制造的铜制程，作为晶片贴合液晶面板上校准之判断，该校准标记包括：一背景样式，位于一第一介电层内，其中该背景样式系由金属铜层所组成，并且该背景样式的表面覆盖一第二介电层；以及一标记主体样式，配置于该第二介电层上，并位于该背景样式涵盖区域之上方，其中，该校准标记主体的材质为金属铝或铝铜合金所组成。