基板检查夹具、夹具底座单元及基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查夹具及其相关技术，其能够减轻伴随着变更作为检查物件的被检查基板的构成而来的变更基板检查夹具的构成的负担。该基板检查夹具(2)具备夹具主体(6)、电极单元(7)和检查头(8)。电极单元(7)具有配设为大致矩阵状的多个电极头部，并在夹具主体(6)上安装成可以更换。检查头(8)具有多个探针和探针固持构件，并在电极单元(7)或夹具主体(6)上安装成可以更换，以使该各个探针的后端部与电极单元(7)的任一个电极头部电接触。电极单元(7)的电极头部以比检查头(8)的探针的配设间距小的配设间距，配设为大致矩阵状，以使其能够对应于探针的配置方式不同的多种检查头(8)。

主权项

一种基板检查夹具，安装于基板检查装置，并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性相关的检查中，其特征在于，包括：夹具主体；电极单元，其具有配设为矩阵状的多个电极部，并于该夹具主体上安装成可以独立更换；以及检查头，其具有多个探针和固持该多个探针的探针固持构件，并于该电极单元或该夹具主体上安装成可以独立更换，以使该各个探针的后端部与该电极单元的任一个该电极部电连接；且该检查头的该探针配置成，其前端部与作为检查对象的该被检查基板的该布线图案上所设定的检查点相对应，该电极单元的该电极部以比该检查头的该探针的配设间距小的配设间距配设为矩阵状，以使其能够对应于该探针的配置方式不同的多种该检查头。