光电二极体、光感测元件及其制备方法

摘要

本案揭露一种光电二极体、光感测元件及其制备方法。光电二极体的N型半导体层与本质半导体层分别包含N型非晶型铟镓锌氧化物与本质非晶型铟镓锌氧化物，且本质非晶型铟镓锌氧化物的含氧量高于N型非晶型铟镓锌氧化物的含氧量。在此也揭露包含上述光电二极体的光感测元件。

主权项

一种光电二极体，包含：一基板；一下电极，配置于该基板上；一N型半导体层，配置于该下电极上，其中该N型半导体层包含N型非晶型铟镓锌氧化物；一本质半导体层，配置于该N型半导体层上，其中该本质半导体层包含本质非晶型铟镓锌氧化物，且该本质非晶型铟镓锌氧化物的含氧量高于该N型非晶型铟镓锌氧化物的含氧量；以及一上电极，配置于该本质半导体层上。