太阳能电池之制造方法

摘要

一种太阳能电池之制造方法，包含以下步骤：提供一矽基板组件，其包含一矽基板、位于矽基板上之一氧化层及位于氧化层上之一抗反射层，矽基板包含一第一型矽层及一第二型矽层，氧化层位于第二型矽层上；置放一第一硬质光罩于抗反射层上，第一硬质光罩具有一第一图案以露出部分之抗反射层；对露出之部分之抗反射层以及部分之氧化层蚀刻，以于抗反射层及氧化层中形成复数个第一沟槽；移除第一硬质光罩；以及于此等第一沟槽中形成复数条第一金属导线。

主权项

一种太阳能电池之制造方法，依序包含以下步骤：(a)提供一矽基板组件，该矽基板组件包含一矽基板、位于该矽基板上之一氧化层及位于该氧化层上之一抗反射层，该矽基板包含一第一型矽层及一第二型矽层，该氧化层位于该第二型矽层上；(b)置放一第一硬质光罩于该抗反射层上，该第一硬质光罩具有一第一图案以露出部分之该抗反射层；(c)对露出之部分之该抗反射层以及部分之该氧化层蚀刻，以于该抗反射层及该氧化层中形成复数个第一沟槽，该等第一沟槽贯穿该抗反射层及该氧化层；(d)移除该第一硬质光罩；(e)于该等第一沟槽中形成一个太阳能电池的复数条第一金属导线；以及(f)利用该第一硬质光罩，并重复上述步骤(a)至(e)，以形成另一太阳能电池的复数条第一金属导线。