| 主权项 |
一种对位机构的回归控制器，包括：一对位装置，系于固定平台上四端点设置可在X方向、Y方向以及θ方向移动的支撑体，该支撑体经由推力装置可在X方向、Y方向以及θ方向移动可动平台；四致动器，系由二第一轴移动的传动螺杆、一第二轴移动的传动螺杆以及一第二轴移动的线性马达所组成，各该致动器能带动推力装置，且该推力装置均设置有一原点感测器，当该致动器对推力装置产生相对运动时，此相对运动使原点感测器输出原点讯号；一控制器，系用以作各致动器监控、运算及控制系统，其能预先确认该推力装置是否位于原点，当该控制器发出一控制讯号驱动各致动器，亦同步记忆各致动器移动推力装置的方向与位移量，接续发出一原点复归讯号用以移动可动平台回归至原点位置，若支撑体与推力装置产生干涉，使推力装置无法回归至原点位置，则控制器先断开线性马达电源，次，再以复归讯号传送给三传动螺杆，使三传动螺杆以反方向带动推力装置向三原点复归，当三传动螺杆复归完成后，控制器接续对线性马达导通电源与发出一复归讯号，使该线性马达向原点复归，如此完成四推力装置对四致动器原点复归。 |
