空白光罩及其制造方法

摘要

一种空白光罩，其系在透光性基板上具有由复数层构成之遮光膜的空白光罩，在其最表面所具有的层系由CrO、CrON、CrN、CrOC或CrOCN构成，前述遮光膜之表面部的原子数密度为9～14×1022atms/cm3。

主权项

一种空白光罩，其系在透光性基板上具有复数之层之空白光罩，其中构成于该复数之层的最表面侧之表面层的原子数密度为9×1022~14×1022atms/cm3，该表面层系含有选自O、C与N所构成之族群的1种以上及金属，该表面层系颗粒大小为2nm以下之非晶构造。