用以自动地处理基于图案段的制造热点之双用途扰动引擎

摘要

本发明之一实施例提供自动处理制造热点资讯之系统。在操作期间，系统接收与布局中之制造热点关联的图案段，其中图案段包含在制造热点位置近处之一组多边形。接下来，系统判断图案段是否匹配已知的制造热点组态。若图案段不匹配已知的制造热点组态，系统接着对图案段执行扰动程序以判断一组校正建议，以排除制造热点。藉由执行扰动程序，系统额外地判断对于多边形组的扰动范围，其中扰动的图案段不排除制造热点。之后，系统将校正建议组及扰动范围储存至制造热点资料库中。

主权项

一种自动处理制造热点资讯之方法，该方法包含：接收与布局中之制造热点关联的图案段，其中该图案段包含在该制造热点位置近处之一组多边形；判断该图案段是否匹配已知的制造热点组态；若该图案段不匹配已知的制造热点组态，则预先处理该图案段，其涉及：将该组多边形断裂成一组基本几何；从该组基本几何选择一基本几何；藉由以下而针对该选择的基本几何辨别一组可移动的边缘：判断该基本几何之边缘是断裂期间所产生之边缘或者是该基本几何之原始边缘；若该边缘是断裂期间所产生，则辨别该边缘为不可移动边缘；及若该边缘是原始边缘，则辨别该边缘为可移动边缘；以及对该预先处理的图案段执行扰动程序以：由电脑判断一组校正建议，以排除该制造热点；以及判断对于该组多边形的扰动范围，其中该扰动的图案段不排除该制造热点；以及将该组校正建议及该些扰动范围储存至制造热点资料库中。