反应管

摘要

【物品用途】;本设计的物品是反应管，为使用在基板处理装置的反应管。;【设计说明】;本物品，是于内部收容处理基板；本物品，是在侧面具备：形成供设置气体喷嘴之空间的略矩形状之突出部；和排出从该气体喷嘴所喷出的气体的开口部；于本物品的内部，将气体从上述气体喷嘴供给到上述处理基板之后，再从上述开口部排出，进行上述处理基板的处理；本衍生设计与原设计之外观差异在于：如各立体图、前视图、及C-C部分放大图等所示，其开口部之大小略有所不同，因此本案与原设计案之差异些微，不影响原设计与衍生设计之近似。