类洋葱碳之制作方法

摘要

本发明之课题在于以低成本制作类洋葱碳(OLC)。;本发明之解决手段为于作为第1步骤之DLC粉末制作处理，藉由把碳化氢系气体作为材料气体的电浆CVD法制作硬质碳粉末之DLC(类钻石碳)粉末。接着，于作为第2步骤之DLC-OLC变换处理，使该DLC粉末在真空中或非活性气体氛围中被加热器加热。藉此，使DLC粉末被变换为OLC，总之制作该OLC。如此，根据本发明的话，能够以碳化氢系气体作为出发原料制作OLC，所以能够以极低的成本制作该OLC。

主权项

一种类洋葱碳之制作方法，其特征为具备：藉由作为材料气体使用碳化氢系气体之电浆CVD法制做类钻石碳(DLC)粉末之DLC粉末制作过程，及把在前述DLC粉末制作步骤所制作的前述DLC粉末在真空中或惰性气体氛围中加热使该DLC粉末变换为类洋葱碳之变换过程；前述DLC粉末制作过程，包含：在被设置开口形状的容器的真空槽内产生电浆的电浆产生过程，与对该真空槽内导入前述碳化氢系气体的气体导入过程；于该容器的内壁制作前述DLC粉末；前述变换过程，包含使被制作前述DLC粉末的之后的前述真空槽内为前述真空或者前述惰性气体氛围之变换环境形成过程，与于该被设为真空或者该惰性气体氛围的该真空槽内把该DLC粉末在700℃以上进行加热的加热过程。