探针单元

摘要

本发明之探针单元系具备：复数个大径探针；复数个小径探针，其直径分别比前述大径探针之直径小；大径探针保持具，在厚度方向贯通设置有个别地保持复数个大径探针之复数个大孔部，并且在与大径探针接触之状态下以各大孔部之一端部收容小径探针之端部；以及小径探针保持具，在厚度方向贯通设置有在防止脱落之状态下个别地保持复数个小径探针之复数个小孔部，且以使该厚度方向与前述大径探针保持具之厚度方向一致之方式积层在大径探针保持具；彼此连通之大孔部及小孔部之长度方向的中心轴系为不同，在复数个小孔部，包含有彼此邻接之二个前述小孔部的中心轴间距离比与各小孔部连通之二个大孔部的中心轴间距离小者。

主权项

一种探针单元，系具备：复数个大径探针，其具有第1柱塞、第2柱塞、及线圏状之弹簧构件，且沿着长度方向伸缩自如，其中，前述第1柱塞系各自利用导电性材料而形成，且在同轴上具有呈大致针状之第1前端部及与该第1前端部连接之第1基端部，前述第2柱塞系在同轴上具有前端指向与前述第1柱塞之前端相反之方向的第2前端部、及前述轴方向之长度比前述第1基端部长之第2基端部，前述弹簧构件系长度方向之一端部包括前述第1基端部且另一端部包括前述第2基端部，安装在前述第1柱塞及前述第2柱塞且具有在前述第1柱塞侧密卷绕之密卷绕部、及以预定间距在前述第2柱塞侧卷绕之疏卷绕部，并且沿着该长度方向伸缩自如；复数个小径探针，各自利用导电性材料而形成，且具有比前述大径探针之直径小的直径；大径探针保持具，其具有个别地保持前述复数个大径探针之复数个大孔部、及直径比前述大孔部小且与前述复数个大孔部之任一者连通，并且在与前述第2前端部接触之状态下收容前述小径探针之端部的复数个收容孔部，彼此连通之前述大孔部及前述收容孔部之组系在厚度方向贯通；以及小径探针保持具，在厚度方向贯通设置有在防止脱落之状态下个别地保持前述复数个小径探针之复数个小孔部，且该小径探针保持具系以各小孔部与前述复数个收容孔部之任一者连通之方式积层在前述大径探针保持具；彼此连通之前述大孔部及前述小孔部之长度方向的中心轴系为不同，在前述复数个小孔部，包含有邻接之二个小孔部的中心轴间距离比分别对应该二个小孔部之二个大孔部的中心轴间距离小者，前述第2基端部系至少在检查时之负载施加于前述小径探针时，进入前述密卷绕部之内部。